DenHorisontell kvartsbåt är specialbyggd för säker och precis hantering av skivor i horisontella ugnssystem, och används i stor utsträckning för oxidation, diffusion och glödgningsprocesser vid produktion av 200 mm halvledarplattor. Tillverkad av högrenhet smält kvarts ger den enastående termisk stabilitet, korrosionsbeständighet och måttprecision.

Dess horisontella design säkerställer enhetlig skivjustering och avstånd längs ugnsrörets axel, vilket möjliggör optimerad gasflödesdynamik och konsekvent termisk behandling över varje skiva. Den styva, lågkontaminerade strukturen minimerar deformation vid höga temperaturer, vilket hjälper till att bibehålla processens integritet och minskar partikelproduktionen.

Användning av horisontella kvartsbåtar i diffusions-, oxidations- och CVD-applikationer

Horisontella kvartsbåtar är oumbärliga verktyg inom halvledartillverkning, utformade för att säkert hålla och transportera wafers under högtemperaturprocesser såsom diffusion, oxidation och CVD-deponering. Tillverkade av högrena smälta kvarts, säkerställer dessa båtar minimal kontaminering och bibehåller integriteten hos känsliga wafer under hela processen.

Den horisontella orienteringen gör att wafer kan ligga platt, vilket främjar jämn värmefördelning och konsekvent exponering för processgaser. Denna design hjälper till att minska temperaturgradienter, säkerställer jämn dopning eller oxidation och förbättrar den totala processavkastningen. Släta, lågföroreningsytor minimerar partikelbildning, vilket stödjer renrumsstandarder och skyddar känsliga skivytor.

Hållbara och termiskt stabila, högkvalitativa horisontella kvartsbåtar tål upprepade termiska cyklingar utan att bli deformerade eller spricka. Genom att välja rätt horisontella kvartsbåt kan halvledarfabriker och forskningsanläggningar optimera waferuniformitet, maximera genomströmningen och upprätthålla strikt processkontroll vid diffusion, oxidation och CVD-applikationer.