Namn:
8-tums kvartsbaser
Funktion och tillämpning:
Flera bafflar placeras i mitten av basen för att sprida gasflödet och säkerställa stabil gasexponering för kiselwafer inne i kvartsbåten som är placerad ovanpå. Det används i wafertillverkningsprocesser såsom diffusion, oxidation, CVD-deponering och glödgning, vilket är högtemperaturprocesser.
Prestandakrav:
Hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, utmärkt termisk stabilitet, sandblästad yta och lågt föroreningsinnehåll.
Nr 5177 Qianghua West Road, Dongqian-gatan, Nanxun-distriktet, Huzhou stad, Zhejiang-provinsen
+86-572-3032373
+86-572-3033016
DenSammansmält kvartssockel är en kritisk stödkomponent designad för halvledar- och fotovoltaisk högtemperaturprocessutrustning. Tillverkad av ultraren smält kvarts ger den utmärkt motståndskraft mot termiska stötar, kemisk tröghet och mekanisk hållbarhet under rigorös termisk cykling.
Denna sockel säkerställer stabil och exakt placering av wafer eller kvartsbåtar inom diffusions-, oxidations-, LPCVD- och glödgningsugnar. Konstruerad för kompatibilitet med olika 8-tums kvartsbåtar och ugnssystem, stödjer den sammansmälta kvartssockeln pålitlig, kontamineringsfri bearbetning som är avgörande för avancerad halvledartillverkning.
Hållbara sammansmälta kvartssocklar tål upprepade termiska cykler och kemisk exponering, vilket minimerar brott och deformation. Färre ersättningar innebär lägre upphandlingskostnader över tid.
Pålitliga piedestaler säkerställer stabil waferplacering och jämnt gasflöde, vilket minskar risken för pannavstängningar orsakade av piedestalfel. Mindre driftstopp leder direkt till högre produktionseffektivitet och kostnadsbesparingar.
Högkvalitativ smält kvarts är motståndskraftig mot korrosion och föroreningar, vilket minskar behovet av rengöring och underhåll. Underhållsteam kan fokusera på andra kritiska uppgifter och spara arbetskostnader.
Stabila piedestaler upprätthåller en jämn termisk fördelning och avstånd, vilket minskar skivdefekter och ökar utbytet. Högre utbyte minskar avfall och förbättrar den totala lönsamheten.
Även om hållbara smälta kvartssocklar kan ha högre initiala kostnader, leder deras livslängd, prestandastabilitet och minskade indirekta kostnader till en gynnsam avkastning för halvledartillverkare.