Namn:

6-tums kvartsbåtsserien

Funktion och tillämpning:

Denna serie inkluderar en mängd kvartsbåtar, såsom burbåtar, baffelbåtar, basbåtar och standardwaferbåtar, designade för att stödja kiselwafers under högtemperaturhalvledarprocesser som diffusion, oxidation, CVD-deposition och waferrengöring. Dessa olika former och strukturer optimerar gasflödet, termisk enhetlighet och waferstabilitet över ett brett spektrum av tillverknings- och forskningsapplikationer.

Prestandakrav:

Högrenhet smält kvartskonstruktion med utmärkt termisk stabilitet, korrosionsbeständighet och lågt innehåll av föroreningar. Robust design för att tåla upprepade termiska cykler. Släta, polerade eller sandblästrade ytor för att minimera partikelbildning och kontaminering, vilket säkerställer kompatibilitet med automatiserade waferhanteringssystem och olika ugnstyper.