DenBöjd plåtsmält kiselbåtär en högprecisionsskivbärare designad för halvledarapplikationer som involverar högtemperaturbatchbearbetning, såsom diffusion, oxidation och CVD-deponering. Tillverkad av högrenhet smält kiseldioxid levererar denna båt exceptionell termisk stabilitet, minimal termisk expansion och utmärkt motståndskraft mot både korrosion och termisk chock.

Dess böjda plattstruktur ger stabilt waferstöd och förbättrar ett enhetligt gasflöde och värmeöverföring inom ugnsröret. Den släta, rena ytan minimerar partikelgenerering, medan materialets höga optiska transparens stödjer visuell inspektion vid behov. Designad för konsekvent skivjustering och låg kontamineringsrisk, uppfyller den sammansmälta kiselböjda plattbåten de strikta kraven för avancerad halvledartillverkning, forskningslaboratorier och pilotlinjer.

Varför kallas den Curved Plate Quartz Boat?

Termen "Böjd plåtkvartsbåt" kommer både från dess material och designform:

Kvarts:Båten är tillverkad av högrenhet kvarts (smält kisel), ett material som är högt värderat inom halvledartillverkning för sin utmärkta termiska stabilitet, kemiska beständighet och låga föroreningsinnehåll.

Böjd plåt:Till skillnad från platta eller rörformade båtar har denna design en platta som är böjd eller böjd i en bågform. Denna böjda (böjda) plattstruktur hjälper till att förbättra gasflödesfördelningen och termisk enhetlighet runt waferna under högtemperaturbearbetning. Krökningen möjliggör bättre exponering av wafers för processgaser och en jämnare värmefördelning.

Båt:Inom halvledarbearbetning är "båt" branschtermen för en bärare eller fixtur som håller wafers säkert under ugns- eller diffusionsrörsbearbetning.

Så "Curved Plate Quartz Boat" betyder bokstavligen en kvartsbaserad waferbärare med en böjd (böjd) plattdesign optimerad för enhetlig waferbearbetning vid högtemperaturhalvledartillverkning.